技术简介： 本发明针对传统CIGS薄膜太阳能电池制备过程中高温工艺损伤柔性基底的问题，提出采用离子束硒化磁控溅射一步法结合氟化钾预置层掺钾技术，在250-350℃低温下实现CIGS吸收层的高质量沉积，...