MBE与MOCVD:LED芯片制造的核心外延设备区别

2/14/2020, 不同于集成电路芯片制造最重要的工艺是光刻,对于发光二极管和各类半导体激光器的制造来说,最重要的工艺是外延生长,其最重要的设备是MOCVD。 半导体工艺的外延技术最早从液相外延开始...