首台国产MOCVD设备试产成功,高质量GaN外延片出炉

首台国产MOCVD设备试产成功,高质量GaN外延片出炉

近日 国家第三代半导体技术创新中心(苏州) 材料生长与装备平台 与企业联合研发的首台国产MOCVD设备 首炉试生长成功产出高质量GaN外延片 采用联合研发国产化MOCVD生长的高质量GaN外延片 首...