2.3 从多晶硅到单晶硅棒2.3.1 改良西门子法生产多晶硅 工业上利用三氯氢硅还原生产多晶硅的方法称为改良西门子法（图1）。第一代改良西门子法是分别回收还原炉尾气中的SiHCl3、SiCl4、HCl...